半导体电子与精密制造
真空泵与冷却水机组监测
真空泵与冷却水机组的设备状态监测：从振动加速度与频谱；表面温度与热异常；管道流量；管道或容器压力；水中ATP活性指标梳理选型、安装、数据验证和运维条件。
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半导体电子与精密制造
光刻与精密测量平台监测
光刻与精密测量平台的精密环境监测：从振动加速度与频谱；介质或空气温度；相对湿度；气体差压；三维点云与几何变化梳理选型、安装、数据验证和运维条件。
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