端到端校验

零通量试验｜SIYB

零通量试验是在无目标气体净交换条件下连续运行整套EC系统检验半小时通量是否围绕零波动，能端到端暴露镜面污染、管路冷凝、时钟错位、标定漂移与表面加热修正缺失等问题。