关键参数速览
| 参数 | 典型取值 |
|---|---|
| ISO 5（百级） | 3520 个/m³（0.5μm） |
| ISO 6（千级） | 35200 |
| ISO 7（万级） | 352000 |
| ISO 8（十万级） | 3520000 |
| 温度 | 22±2 °C |
| 湿度 | 45±10% RH |
| 相邻房间压差 | ≥10 Pa |
内容概览
直接回答
ISO 14644-1 洁净度等级：ISO 5（百级，≥0.5 μm 粒子≤3520 个/m³）、ISO 6（千级，35200）、ISO 7（万级，352000）、ISO 8（十万级，3520000）。半导体厂 ISO 5–6；制药灌装 ISO 7；一般组装 ISO 8。
"百级"是美标 FS 209E，对应 ISO 5；"万级"是 ISO 7；日常说法与 ISO 等级要换算。
本页针对一个具体的监测设备或现场问题给出可执行的判断：先给结论，再列判断依据与现场核查项。核查建议为通用工程参考，具体以设备说明书与厂商支持为准，涉及安全事项由持证人员操作。
判断依据
- ISO 5（百级）：≥0.5 μm 粒子≤3520/m³；半导体、精密仪器。
- ISO 6（千级）：35200/m³；光学、光刻。
- ISO 7（万级）：352000/m³；制药灌装、医疗器械。
- ISO 8（十万级）：3520000/m³；一般组装、包装。
- 温度：22±2°C；湿度：45±10% RH；压差：相邻房间≥10 Pa。
现场核查项
- 粒子计数器测 0.5 μm/5 μm 粒子数，对比 ISO 等级。
- 温湿度计测 22±2°C、45±10% RH。
- 微压差计测相邻房间压差≥10 Pa。
- 层流罩风速 0.36–0.54 m/s（ISO 5）。
相关问题
常见问题
洁净室能不能开门？
开门瞬间粒子数爆 10 倍；必须经气闸/风淋，门互锁不能同时开。
工作服要不要换？
要。洁净服+帽子+鞋套；每次进入风淋 30 s。
